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我公司主要產(chǎn)品是二極管,有一工序是用氣體對晶片(主要成分是硅)進行腐蝕,是在真空的狀態(tài)是注入SF6和N2O兩種氣體,現(xiàn)在出現(xiàn)不能腐蝕晶片的現(xiàn)象,不知是否可以注入催化劑可以加速它們的反應(yīng),用那種催化劑呢?謝謝!

急!

咨詢者:唐耿興 咨詢時間:2008-04-10 狀態(tài):已回復(fù)

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你談到的問題本人研究未涉及.

回復(fù): 回復(fù)時間:2009-09-04


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  • 專家姓名:高俊文

    性別:男
  • 技術(shù)職稱:高級工程師

    年齡:1966年生
  • 所在地區(qū):中國/陜西
  • 【專業(yè)方向】催化劑凈化劑(甲醇催化劑,脫氯劑,脫硫劑及脫毒劑)
  • 【技術(shù)服務(wù)】該專家愿意提供以下技術(shù)服務(wù):工業(yè)催化劑、凈化劑[硫加氫催化劑、氧化鋅脫硫劑、脫氯劑、甲醇合成催化劑、重整油脫硫劑、甲醇制二甲醚催化劑、變換催化劑(耐硫變換、中變催化劑和低變催化劑,甲醇保護劑)]等的研究開發(fā);均相催化劑研究開發(fā),甲醇羰基化制醋酸催化劑開發(fā)研究;合成氣、天然氣、焦爐氣等氣體凈化技術(shù)的研究開發(fā);市場以及技術(shù)調(diào)研,催化劑凈化劑產(chǎn)品等技術(shù)咨詢服務(wù)。
  • 專家介紹  研究成果  技術(shù)轉(zhuǎn)讓